講座題目： 芯片制造中的圖形工藝

特邀專家： 張聰（上海華力集成電路制造有限公司）

講座時間：2023.06.28   16:00

講座地點： 立人樓A204

主講人簡介：

張聰，2006年自電子科技大學本科畢業後即進入半導體芯片制造事情，迄今共18年光刻工藝開發經驗，曾參與過3家芯片廠建廠並均實現量産。

現今在上海華力集成電路制造有限公司先進模塊研發部事情，負責先進節點光刻工藝的開發；事情期間實現了40nm，28nm，22nm等節點光刻工藝開發及量産，同時治理的團隊成員由不到20人擴充至90多人。

內容簡介：

介紹半導體芯片工藝中的圖形工藝，以及圖形工藝工程師(光刻/OPC)所從事的事情及先進圖形工藝發展的偏向。